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MFC專用內(nèi)聯(lián)監(jiān)視器IM-10該產(chǎn)品為質(zhì)量流量控制器的檢測(cè)裝置，檢測(cè)范圍包括設(shè)定電壓及輸出電壓等電壓狀態(tài)。此外，該產(chǎn)品內(nèi)置耗電量較低的電壓表，可以監(jiān)控從設(shè)備發(fā)出的信號(hào)、MFC向設(shè)備發(fā)出的信號(hào)是否正常，在故障發(fā)生時(shí)可及時(shí)鎖定故障原因。IM-10連接示例將本儀器連接在質(zhì)量流量控制器和設(shè)備電源之間，或者連接在質(zhì)量流量控制器和電源設(shè)定表示器（RP-310）之間，即可對(duì)各種信號(hào)、電壓進(jìn)行檢測(cè)。測(cè)量功能?電源電壓（±15VDC）?流量設(shè)定電壓（0-5VDC）?流量輸出電壓（...

MFC專用電源PS該系列產(chǎn)品是質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計(jì)的±15V專用電源，可最多提供多達(dá)9臺(tái)MFC/MFM同時(shí)使用。該電源支持的電壓范圍為AC85~240V,也可以通過轉(zhuǎn)接質(zhì)量流量器的設(shè)定信號(hào)、輸出信號(hào)及閥門啟閉信號(hào)進(jìn)行外部控制。用于3個(gè)MFC的PS-203M電源流量設(shè)定信號(hào)和流量輸出信號(hào)通過PS系列從PLC等上級(jí)設(shè)備通過PS系列電源，將流量設(shè)定信號(hào)、流量輸出信號(hào)輸入到質(zhì)量流量控制器，PS系列提供±15V電源。數(shù)字通訊對(duì)于使用PC接口（如LabV...

MFC用電源設(shè)定表示器RP-310該產(chǎn)品是一款適用于質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的一體化產(chǎn)品。功能包括電源輸入、流量顯示及設(shè)定，是進(jìn)行流量控制所需的獨(dú)立設(shè)備。您可以根據(jù)F.S.更改顯示值。除了顯示流量值（瞬時(shí)）外，還可以顯示累積值。RP-310一臺(tái)質(zhì)量流量控制器和一臺(tái)RP-310通過專用電纜連接，質(zhì)量流量控制器由RP-310模擬信號(hào)控制。通過PLC(可編程邏輯控制器)等上級(jí)設(shè)備，借由RP-310，輸入質(zhì)量流量控制器的設(shè)定信號(hào)和輸出信號(hào)，并將其顯示在RP-310上。規(guī)格表電源AC...

電磁控制閥小型汽化器VU-430搭載液體噴嘴和載氣噴嘴的雙流體噴嘴結(jié)構(gòu)高效率汽化器。液體噴嘴和載氣噴嘴（0.05~4SLM）的雙流體噴嘴在汽化室前匯合，以精細(xì)地噴灑液體。被微小霧化的液體可以通過輻射熱被高效汽化。汽化室頂部的液體控制閥通過接收液體質(zhì)量流量計(jì)(LM-3000L)的流量信號(hào)來調(diào)節(jié)閥門開度。通過控制流量，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給。高效率汽化器VU-430特點(diǎn)高效率汽化維護(hù)成本低汽化室附近搭載液體流量控制閥使用范例低蒸氣壓材料的汽化該汽化器搭載最高溫度為200℃的耐熱結(jié)...

光刻膠溶液和SOG中的顆?？梢詼y(cè)量0.15μm以上的顆?？蛇B接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源二極管激光器（波長(zhǎng)830nm，額定功率200mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分類0.15μm~0.5μm范圍內(nèi)的10個(gè)級(jí)別運(yùn)輸：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm或更高的4個(gè)級(jí)別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度1,200單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在5%以內(nèi)）權(quán)力DC12V（由KE-40B1供電）大小約160毫米（水平）×300毫米（寬）×251毫米（深...

光刻膠溶液和SOG中的顆?？梢栽?.1μm范圍內(nèi)測(cè)量可連接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長(zhǎng)532nm，額定功率500mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分類0.1μm~0.5μm范圍內(nèi)的10個(gè)級(jí)別（可選0.07μm，用于純水等透明液體）運(yùn)輸：0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高、0.35個(gè)≥μm和≥0.5μm的水平額定流量5毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度9,600單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力DC12V（...

化學(xué)溶液中0.05μm顆粒的測(cè)量實(shí)現(xiàn)10%的計(jì)數(shù)效率使用藍(lán)寶石電池可以測(cè)量氫氟酸等。批量和在線測(cè)量的多種選擇規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長(zhǎng)532nm，額定功率500mW）接液部件材料藍(lán)寶石，PFA粒度分類2至10步，范圍為0.05μm~0.2μm運(yùn)輸：0.05μm或更高、0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高的4個(gè)級(jí)別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度30,000個(gè)/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力DC12V（由KE-4...

化學(xué)溶液中0.03μm顆粒的測(cè)量最小可測(cè)量粒徑：0.03μm使用藍(lán)寶石電池可以測(cè)量氫氟酸等。批量和在線測(cè)量的多種選擇規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長(zhǎng)532nm，額定功率800mW）接液部件材料藍(lán)寶石，PFA粒度分類2至10個(gè)級(jí)別，范圍從0.03μm~0.13μm發(fā)貨：0.03μm或更高、0.06μm或更高、0.1μm或更高、0.1μm或更高的4個(gè)級(jí)別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度40,000單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力DC1...

化學(xué)溶液中0.02μm顆粒的測(cè)量最小可測(cè)量粒徑：0.02μm使用藍(lán)寶石電池可以測(cè)量氫氟酸等。批量和在線測(cè)量的多種選擇規(guī)范光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器（波長(zhǎng)532nm，額定功率1.5W）接液部件材料藍(lán)寶石，PFA粒度分類2至7個(gè)水平，范圍為0.02μm~0.08μm運(yùn)輸：0.02μm或更高、0.03μm或更高、0.04μm或更高、0.06μm或更高的4個(gè)級(jí)別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計(jì)數(shù)濃度50,000個(gè)/mL（計(jì)數(shù)丟失在10%以內(nèi)）權(quán)力交流10...

汽化器(直接汽化法)用液體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量質(zhì)量及流量，采用后置汽化器將對(duì)全部液體進(jìn)行汽化的方式。直接汽化法的基本原理汽化器直接汽化法流程圖直接汽化法使用液體質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行質(zhì)量測(cè)量，并通過汽化器內(nèi)置的控制閥將流量控制后的液體連續(xù)引入汽化室。在汽化室中，液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體，但瞬間汽化后的氣體質(zhì)量不會(huì)改變，因此，如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器，液體主要的質(zhì)量流量=汽化器出口處的氣體質(zhì)量流量。由于汽化濃度的要素由MFC直接控制，因此穩(wěn)定性，可進(jìn)行高濃度汽化，這是鼓泡法難...