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測(cè)量原理	氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型	分離型（轉(zhuǎn)換器：壁掛式;傳感器：直接插入式）
顯示系統(tǒng)	4 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測(cè)量范圍	0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動(dòng)系列
重復(fù)性	滿量程的 ±0.5% 以內(nèi);范圍 0-1% 或更高在滿量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以內(nèi)，以較大者為準(zhǔn);范圍小于 0-1 % 濃度在 0-1 ppm 之間，大氣壓范圍不在保修期內(nèi)。
測(cè)量點(diǎn)數(shù)量	1~8
樣氣要求	壓力	10-3至 200KPa（絕對(duì)壓力）
流量	0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min（在自然分散狀態(tài)下測(cè)量）
濕度	露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度	0 至 100°C
別人	不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體	大氣層
記錄器輸出	僅傳輸輸出
傳輸輸出	RS-232C 系列
警報(bào)輸出	沒(méi)有
預(yù)熱時(shí)間	6 分鐘或更短
尺寸	MS-500（控制器）	92 mm （W） ×44 mm （H）×120 mm （D）（不包括突出部分）
MS-510（轉(zhuǎn)換器）	100 mm （W） × 40 mm （H）×88 mm （D）（不包括突出部分）
傳感器單元	SD16NW型	全長(zhǎng) 100mm（傳感器 ? 11×39，機(jī)身 ? 40×51）
SD25NW型	全長(zhǎng) 100mm（傳感器 ? 11×42，機(jī)身 ? 40×48）
SD40NW 系列	全長(zhǎng) 100mm（傳感器 ? 11×41，機(jī)身 ? 40×49）
重量	MS-500（控制器）	約 0.6 kg
MS-510（轉(zhuǎn)換器）	約 0.5 kg
傳感器單元	SD16NW型	約 0.2 kg
SD25NW型	約 0.2 kg
SD40NW 系列	約 0.35 kg
外部連接	任何真空法蘭（NW16、25 或 40）
權(quán)力	24VDC±10%

測(cè)量原理	氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型	桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)	4 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測(cè)量范圍	0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動(dòng)系列
重復(fù)性	滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內(nèi)的濃度（大氣壓）不在保修期內(nèi)。
采樣方法	使用內(nèi)置泵進(jìn)行連續(xù)抽吸
樣氣要求	壓力	加壓 30 KPa 或更低
流量	1,000~2,000 毫升/分鐘
濕度	露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度	0 至 50°C
別人	不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體	大氣層
記錄器輸出	氧氣濃度輸出	在 4-20 mA 或 0-20 mA 之間切換（0-10 V 可選）;絕緣;負(fù)載阻力為 550 Ω 或更低記錄儀輸出范圍以滿量程表示，氧濃度以線性輸出表示
輸出范圍	0-100%， 0-1000ppm， 0-100ppm， 0-10ppm 自動(dòng)/固定范圍
傳輸輸出	RS-232C 系列
警報(bào)輸出	FAIL （設(shè)備錯(cuò)誤）	1 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生設(shè)備故障時(shí)觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）
ALM（濃度警報(bào)）	2 積分（H/L）	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）
RDY （預(yù)熱信號(hào)）	1 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下非電壓觸點(diǎn)的最小開(kāi)/關(guān)容量為 12 V 或更高;不響應(yīng)極小的負(fù)載
MRK（范圍標(biāo)記）輸出	2 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
預(yù)熱時(shí)間	5 分鐘或更短
尺寸	身體	210 mm （W） ×134 mm （H）×300 mm （D）（不包括突出部分）
重量	約 6 kg
氣體連接	入口	RC1/4
旁通輸出	RC1/4
出口	RC1/4
權(quán)力	100 至 240 V AC，50 V A（正常條件：35 V A）50 Hz/60 Hz

測(cè)量原理	氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型	桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)	4 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測(cè)量范圍	0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0ATM 自動(dòng)系列
重復(fù)性	滿量程的 ±1% 和 0-1 ppm 范圍內(nèi)的濃度（大氣壓）不在保修期內(nèi)。
采樣方法	使用內(nèi)置泵進(jìn)行連續(xù)抽吸
樣氣要求	壓力	加壓 30 KPa 或更低
流量	1,000~2,000 毫升/分鐘
濕度	露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度	0 至 50°C
別人	不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體	大氣層
記錄器輸出	氧氣濃度輸出	0-10 V 直流;絕緣;負(fù)載電阻 600 kΩ 或更高（選項(xiàng)：4-20 mA DC;絕緣;負(fù)載電阻 550 Ω 或更低）記錄儀輸出范圍以滿量程和氧氣濃度為線性輸出
輸出范圍	0-100%， 0-1000ppm， 0-100ppm， 0-10ppm 自動(dòng)/固定范圍
傳輸輸出	RS-232C 系列
警報(bào)輸出	FAIL （設(shè)備錯(cuò)誤）	1 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生設(shè)備故障時(shí)觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）
ALM（濃度警報(bào)）	2 分（L/LL）	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）
RDY （預(yù)熱信號(hào)）	1 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下預(yù)熱時(shí) 觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）非電壓觸點(diǎn)的最小開(kāi)/關(guān)容量為 12 V 或 20 mA 或更高;不響應(yīng)極小的負(fù)載
MRK（范圍標(biāo)記）輸出	2 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：30 V DC/AC 以下、0.5 A 以下
預(yù)熱時(shí)間	5 分鐘或更短
尺寸	身體	240 mm （W） ×134 mm （H）×210 mm （D）（不包括突出部分）
重量	約 5 kg
氣體連接	入口	RC1/8
旁通輸出	RC1/8
出口	RC1/8
權(quán)力	24 V DC±10%，1.25 A（正常情況下為 30 V）

測(cè)量原理	氧化鋯濃縮池類(lèi)型
類(lèi)型	桌面型/面板安裝型
顯示系統(tǒng)	6 位數(shù)字顯示（濃度顯示）
測(cè)量范圍	0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~10-0atm 自動(dòng)/固定范圍
重復(fù)性	在滿量程的 ±1% 以內(nèi)氧氣濃度低于 1 ppm 和濃度在 0-1 ppm 范圍內(nèi)，大氣壓范圍不在保修期內(nèi)。
采樣方法	使用內(nèi)置泵進(jìn)行連續(xù)抽吸
樣氣要求	壓力	加壓 30 KPa 或更低
流量	~1,500 毫升/分鐘
濕度	露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度	0 至 50°C
別人	不得含有腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化氣等）、含有有機(jī)硅的氣體、易燃物質(zhì)（包括氣體）、油或濕氣
參比氣體	大氣層
記錄器輸出	氧氣濃度輸出	4-20 mA/0-10 V 4-20 mA：絕緣;負(fù)載電阻 600 Ω 以下 0-10 V：絕緣;負(fù)載阻力為 500 Ω 或更高記錄儀輸出范圍以滿量程表示，氧濃度以線性輸出表示
輸出范圍	0-100%、0-10%、0-1%、0-1000 ppm、0-100 ppm、0-100 ppm、0-10 ppm、10-20-10-0或具有任意 4 個(gè)量程的自動(dòng)/固定量程
傳輸輸出	RS-232C 系列
警報(bào)輸出	FAIL （設(shè)備錯(cuò)誤）	1 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下發(fā)生設(shè)備故障時(shí)觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）
ALM（濃度警報(bào)）	2 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）
RDY （預(yù)熱信號(hào)）	1 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：24 V DC/AC 或更低，0.5 A 或更低觸點(diǎn)在預(yù)熱期間閉合（觸點(diǎn)操作可調(diào)）非電壓觸點(diǎn)的最小開(kāi)/關(guān)容量為 12 V 或更高;不響應(yīng)極小的負(fù)載
MRK（范圍標(biāo)記）輸出	3 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn);觸點(diǎn)容量：24 V DC/AC 以下、0.1 A 以下
預(yù)熱時(shí)間	20 分鐘或更短
尺寸	身體	288 mm（寬）×144 mm（高）×400 mm（深）（不包括突出部分）
重量	約 10 kg
氣體連接	入口	RC1/8
旁通輸出	RC1/8
出口	RC1/4
權(quán)力	100 至 120 V AC±10% 200 V A 50 Hz/60 Hz

TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用

TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450A
TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450A
氧氣分析儀
用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

型號(hào)： MS-500

MS-500 規(guī)格

型號(hào)： LC-450A/LC-450D

LC-450A 規(guī)格

LC-450D 規(guī)格

型號(hào)： LC-860

LC-860 規(guī)格

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TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用

TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450ATORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450A氧氣分析儀用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

型號(hào)： MS-500

MS-500 規(guī)格

型號(hào)： LC-450A/LC-450D

LC-450A 規(guī)格

LC-450D 規(guī)格

型號(hào)： LC-860

LC-860 規(guī)格

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TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450A
TORAY東麗氧氣分析儀半導(dǎo)體用LC-450A
氧氣分析儀
用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀