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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /    /  TORAY東麗  /  LC-860日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀
最多可同時(shí)測量 8 個(gè)點(diǎn)
可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
傳感器直接插入(NW 法蘭 16/25/40 用于真空)

  • 產(chǎn)品型號:LC-860
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-09-04
  • 訪  問  量:685
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聯(lián)系電話:15510102388

詳細(xì)介紹

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀介紹:

血YANG定量計(jì)半導(dǎo)體、LCD 和電子元件相關(guān)應(yīng)用用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

血YANG儀 MS-500

MS-500

  • 最多可同時(shí)測量 8 個(gè)點(diǎn)

  • 可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。

  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。

  • 傳感器直接插入(NW 法蘭 16/25/40 用于真空)

  • 堅(jiān)固耐用的傳感器,帶有特殊涂層,更耐用

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀MS-500 規(guī)格:

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 分體式(換能器:壁掛式、傳感器:直插式)
顯示方式 數(shù)字 4 位顯示(密度顯示)
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機(jī)
自動量程
重復(fù)性 ± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高
±1%FS或小于0.1ppm ± 小于
0-1% 范圍 0-1ppm,ATM范圍超出濃度保證范圍
測量點(diǎn)數(shù) 1~8
樣氣條件 壓力 10-3~200KPa(絕對壓力)
流量 0.5~5,000mL/min或0mL/min(自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測量)
濕度 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度 0~100°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機(jī)輸出 僅傳輸輸出
傳輸功率 RS-232C接口
報(bào)警輸出 沒有
預(yù)熱時(shí)間 6分鐘內(nèi)
大小 MS-500 (控制器) 92 (W) × 44 (H) × 120 (D) (不包括突起部分)
MS-510 (轉(zhuǎn)換器) 100 (W) × 40 (H) × 88 (D) (不包括突起部分)
傳感器單元 SD16NW系列 全長:100mm(感應(yīng)部分Φ11×39、機(jī)身部分Φ40×51)
SD25NW系列 全長:100mm(感應(yīng)部分Φ11×42、機(jī)身部分Φ40×48)
SD40NW系列 全長:100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,機(jī)身部分Φ40×49)
質(zhì)量 MS-500 (控制器) 約0.6Kg
MS-510 (變壓器) 約0.5kg
傳感器單元 SD16NW系列 約0.2Kg
SD25NW系列 約0.2Kg
SD40NW系列 約0.35Kg
外部連接 任何真空法蘭(NW16、25、40)
使用的電源 24VDC±10%

血YANG儀 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

  • 可以顯示
    從寬濃度范圍內(nèi)測量的ppm水平到100%的廣泛濃度范圍。

  • 提高傳感器耐久性氧
    傳感器經(jīng)過特殊處理,可提高耐久性。

  • 交流寬電源 AC100~240VAC (LC-450A)
    *LC-450D 是 DC24V 驅(qū)動

  • 結(jié)構(gòu)緊湊,易于安裝,
    深度甚至比我們的傳統(tǒng)型號更短,而且不占用太多空間。

  • 符合RoHS指令的產(chǎn)品

  • CE標(biāo)志自我聲明的物品
    EN61010-1:2002,EN61326:+A3:2003

LC-450A 規(guī)格:

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 桌面/面板安裝
顯示方式 數(shù)字 4 位顯示(密度顯示)
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機(jī)自動量程
重復(fù)性 ±在1%FS0-1ppm以內(nèi),大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式 內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件 壓力 加壓小于30KPa
流量 1,000~2,000毫升/分鐘
濕度 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度 0~50°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機(jī)
輸出
氧氣濃度輸出 4-20 mA 或 0-20 mA 開關(guān)(可選 0-10 V) 隔離、負(fù)載電阻 550 Ω以下
記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度成線性關(guān)系
輸出范圍 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率 RS-232C接口
報(bào)警輸出 FAIL(設(shè)備錯(cuò)誤) 1 分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因
設(shè)備異常導(dǎo)致觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
ALM(濃度報(bào)警) 2 分 (H/L) 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 發(fā)生報(bào)警時(shí)
觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
RDY(預(yù)熱信號) 1 分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下
  • 無電壓觸點(diǎn)的最小開關(guān)容量為 12 V 或更高,無法處理小負(fù)載。

MRK(范圍標(biāo)記)輸出 2 積分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下
預(yù)熱時(shí)間 5分鐘內(nèi)
大小 物質(zhì) 210 (W) × 134 (H) × 300 (D) mm (不含突起部分)
質(zhì)量 約6kg
氣體
連接端口
入口 RC1/4型
旁路輸出 RC1/4型
出口 RC1/4型
使用的電源 100~240VAC, 50VA (穩(wěn)態(tài): 35VA) 50Hz/60Hz

LC-450D 規(guī)格

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 桌面/面板安裝
顯示方式 數(shù)字 4 位顯示(密度顯示)
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機(jī)自動量程
重復(fù)性 ±在1%FS0-1ppm以內(nèi),大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式 內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件 壓力 加壓小于30KPa
流量 1,000~2,000毫升/分鐘
濕度 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度 0~50°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機(jī)
輸出
氧氣濃度輸出 0-10VDC,隔離,負(fù)載電阻600kΩ以上
(可選:4-20mADC,隔離,負(fù)載電阻550 Ω以下)
記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度成線性關(guān)系
輸出范圍 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率 RS-232C接口
報(bào)警輸出 FAIL(設(shè)備錯(cuò)誤) 1 分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因
設(shè)備異常導(dǎo)致觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
ALM(濃度報(bào)警) 2 分 (L/LL) 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 發(fā)生報(bào)警時(shí)
觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
RDY(預(yù)熱信號) 1 分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 預(yù)熱操作時(shí)
觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
  • 非電壓觸點(diǎn)的最小開關(guān)電容大于 12 V 或 20 mA,無法處理小負(fù)載

MRK(范圍標(biāo)記)輸出 2 積分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下
預(yù)熱時(shí)間 5分鐘內(nèi)
大小 物質(zhì) 240 (W) × 134 (H) × 210 (D) mm (不含突起部分)
質(zhì)量 約5kg
氣體
連接端口
入口 RC1/8型
旁路輸出 RC1/8型
出口 RC1/8型
使用的電源 24VDC±10%, 1.25A (30VA, 穩(wěn)態(tài))

血YANG儀LC-860

LC-860

  • 低濃度測量:能夠
    測量從ppb級到100%

  • 易于操作:使用單獨(dú)的按鍵即可輕松操作

  • 吹掃功能比較
    氣體進(jìn)一步穩(wěn)定,可以進(jìn)行更精確的測量(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)

  • 高可靠性傳感器:
    傳感器內(nèi)部也可進(jìn)行防劣化處理(可選)

LC-860 規(guī)格:

測量原理 氧化鋯陰影電池供電
形狀 桌面/面板安裝
顯示方式 數(shù)字 6 位顯示(密度顯示)
測量范圍 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM
自動/固定范圍
重復(fù)性 ± 氧氣濃度小于
1 ppm和0-1 ppm,大氣壓范圍在1%FS以內(nèi)均超出濃度保證范圍。
取樣方式 內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件 壓力 加壓小于30KPa
流量 ~1,500毫升/分鐘
濕度 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度 0~50°攝氏度
其他 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體 大氣層
錄音機(jī)
輸出
氧氣濃度輸出 4-20mA/0-10V
4-20mA:隔離、負(fù)載電阻 600 Ω以下
0-10V:絕緣,負(fù)載電阻 500 Ω以上
記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度呈線性關(guān)系
輸出范圍 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可選 4 個(gè)量程自動/固定量程
傳輸功率 RS-232C接口
報(bào)警輸出 FAIL(設(shè)備錯(cuò)誤) 1 分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下,0.1A以下 因
設(shè)備異常導(dǎo)致觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
ALM(濃度報(bào)警) 2 積分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下,0.1A以下 發(fā)生報(bào)警時(shí)
觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
RDY(預(yù)熱信號) 1 分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下,0.5A以下 預(yù)熱操作時(shí)
觸點(diǎn)閉合(觸點(diǎn)操作可更改)
  • 無壓觸點(diǎn)的最小開關(guān)容量為12V以上,無法處理小負(fù)載。

MRK(范圍標(biāo)記)輸出 3分 無電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下,0.1A以下
預(yù)熱時(shí)間 20分鐘內(nèi)
大小 物質(zhì) 288 (W) × 144 (H) × 400 (D) mm (不包括突起部分)
質(zhì)量 約10kg
氣體
連接端口
入口 RC1/8型
旁路輸出 RC1/8型
出口 RC1/4型
使用的電源 100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz

 


 

 

 

 

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