在現(xiàn)代液晶面板(LCD)、有機發(fā)光二極管(OLED)等顯示屏的制造過程中,真空環(huán)境是眾多核心工藝環(huán)節(jié)的重要條件,從薄膜沉積(CVD,PVD)到干法刻蝕,都對真空系統(tǒng)的性能提出要求。
MIYUKI美幸輝面板廠用真空泵正是為滿足這一苛刻需求而生的專業(yè)設(shè)備,以其潔凈度、穩(wěn)定的抽氣性能和高可靠性,成為保障面板生產(chǎn)線連續(xù)、高效運行的“工藝基石”。

核心特點一:保障高良品率
面板制造對污染的控制達到了近乎嚴苛的程度,微小的油分子或金屬粉塵都可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷,造成巨大的經(jīng)濟損失。MIYUKI真空泵針對此需求,采用了先進的干式(無油)螺桿技術(shù)。泵腔內(nèi)無需使用潤滑油,從根源上杜絕了油蒸汽返流污染真空腔體的風(fēng)險。同時,泵體材質(zhì)與表面處理工藝均經(jīng)過優(yōu)化,具有極低的放氣率和高耐腐蝕性,確保所提供的真空環(huán)境滿足半導(dǎo)體級潔凈標準,為面板的高良品率提供了堅實基礎(chǔ)。
核心特點二:抽氣性能穩(wěn)定,支持連續(xù)生產(chǎn)
面板生產(chǎn)線是24小時連續(xù)運行的,任何非計劃停機都會帶來巨大損失。MIYUKI真空泵設(shè)計堅固,核心的螺桿轉(zhuǎn)子經(jīng)過精密動平衡校正,運行平穩(wěn),磨損低。這使得泵能夠在高負荷下長時間保持穩(wěn)定的抽氣速度和極限真空度,性能衰減緩慢。其穩(wěn)定性和耐久性,確保了關(guān)鍵工藝腔體真空條件的恒定,為大規(guī)模連續(xù)化生產(chǎn)提供了可靠保障。
核心特點三:高效節(jié)能,降低綜合成本
面對巨大的能耗成本,MIYUKI真空泵融入了高效的節(jié)能設(shè)計。例如,采用先進的型線設(shè)計的螺桿轉(zhuǎn)子,壓縮效率高;配備智能控制系統(tǒng),可根據(jù)實際工藝負載自動調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)速,在非滿負荷工況下降低能耗。這種對能效的關(guān)注,幫助面板廠在確保工藝要求的同時,降低綜合運營成本(COO),提升市場競爭力。
核心特點四:低振動噪音,維護簡便
優(yōu)良的機械設(shè)計使得MIYUKI真空泵運行時的振動和噪音水平極低,有助于維持潔凈廠房的安靜、穩(wěn)定環(huán)境。同時,其模塊化設(shè)計和長維護周期的特點,也使得日常檢查與定期保養(yǎng)工作變得更為簡便、快捷,進一步提升了設(shè)備的使用效率。
MIYUKI美幸輝面板廠用真空泵,以其潔凈、穩(wěn)定可靠、高效節(jié)能和低維護需求的突出特點,契合了現(xiàn)代平板顯示制造業(yè)對真空系統(tǒng)的核心要求。它是保障先進工藝實現(xiàn)、提升產(chǎn)品良率、實現(xiàn)高效生產(chǎn)的戰(zhàn)略性裝備。