任何方向類型 TG-F 系列

使用油脂潤(rùn)滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵?？箾_擊設(shè)計(jì)使渦輪分子泵能夠安裝在移動(dòng)設(shè)備或運(yùn)動(dòng)部件上。產(chǎn)品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號(hào)。

潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

產(chǎn)品陣容

TG50F

• 任何方向

• 緊湊的尺寸

• 節(jié)能

• 快速啟動(dòng)

• 帶排氣口快速關(guān)閉

• 用于涌入空氣的耐用結(jié)構(gòu)

• 串行通信

※RS232C串行接口

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體生產(chǎn)

• 電子槍排氣、電離源排氣

• FPD制造

• 表面處理、表面改性

• 各種電子元器件的制造

• 分析、檢測(cè)設(shè)備

• 燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)

• 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

• 熱處理

• 研究與開發(fā)

*如果排出腐蝕性氣體，請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用TG-M或TG系列。

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線

• 控制器

*1 ： 使用100L/min的前級(jí)真空泵時(shí)。

[使用環(huán)境溫度]

確保您達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對(duì)應(yīng)氣體]

一些使用氣體會(huì)使?jié)櫥蛢?nèi)部零件變質(zhì)。請(qǐng)聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。